真空燒結(jié)爐首要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)，氣體保護燒結(jié)及慣例燒結(jié)，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝配備，它設計構(gòu)思新穎，操作便利，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。
一、停電
1、停電時，假如斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。
2、假如在非升溫、加熱和冷卻時，能夠趕快恢復時，重新啟動設備，繼續(xù)工作如需求較長時間，則將設備保持原狀。
3、假如正在加熱和冷卻時，能夠趕快恢復時，重新啟動設備，假如需求較長時間時，則保持原狀，讓設備天然冷卻下來。
二、加熱電源掉電
1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。
2、接地毛病。
3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器銜接處須要銜接結(jié)實，與反射屏絕緣要好。
4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時。電源呈現(xiàn)毛病，掉電的原因可以認為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。
三、充氣氣體中止
1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請承認氣體管路是否被堵塞。
2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設備要悉數(shù)中止后再進行檢查。
3、向真空室內(nèi)充氣不能中止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要封閉氣體供應閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。
4、承認氣體充氣配管是否有漏氣的當?shù)兀缬袝绊懼破焚|(zhì)量?